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光的干涉测量表面粗糙程度

www.bysj580.com / 2016-10-25
光的干涉测量表面粗糙程度
一、 调研资料的准备 
在老师的悉心指导之下,我选择了利用光的干涉测量表面粗糙程度这个课题,然后便开始为论文准备材料。
第一,在对学校的图书馆、阅览室中的相关书籍、杂志、期刊、大学学报等借阅,进行取舍,归纳整理。
第二,利用互联网,上网资料搜索相关的文献资料、论文集等。第三参加相关的实验、试验、调查研究取得第一手资料。在遇到问题是,主动向老师请教。
二、选题依据
表面粗糙度是机械加工中描述表面微观形貌最常用的参数,它反映的是机械零件表面的微观几何形状误差,它对工件的性能有很大影响。随着机械加工业的发展,对工件粗糙程度的测量技术越来越重要。测量分为传统的接触式测量和非接触式测量。接触式测量易划伤材料的试件表面、测量速度较低、而且不易实现自动化在线检测等不足之处,所以非接触测量特别是光学测量法受到了广泛关注。利用光的干涉测量,由于非接触,快速,可在线测量,响应速度快,还具有测量精度高等优点,可测量光学表面既具有较高反射率的表面的粗糙程度。
三、选题目的
1. 提高自己对文献资料的搜索和信息处理能力。
2. 锻炼自己对所学理论知识及技能的综合运用能力。
3. 提高自己的创新能力,培养自己设计创作兴趣。
4. 弥补知识储备不足的缺陷,有针对性地、高效率地获取知识,提高专业能力。
四、选题要求
光学干涉法是利用光波干涉原理来检测表面形貌,激光干涉只能测表面微观形貌的相对高度值,不能进行绝对测量,为了克服此缺点,要求利用白光干涉测量法解决此问题。要求简要介绍传统的测量方法,然后重点介绍光学的干涉的方法。其中白光干涉法是以白光干涉理论为基础,利用一些算法,来精确地得到被测工件的表面微观形貌。利用了双光束白光干涉的特性,通过白光干涉图零级条纹中心位置,根据零级条纹中心移动量来得到被测工件表面粗糙度。
五、进度安排
第一阶段  2011年12月---2012年2月  资料准备阶段
大量阅读与该课题有关的资料及相关的论文,酝酿课题实施方案及相关措施。
第二阶段  2012年3月---2012年4月中旬 初稿写作
根据开题报告及指导教师对课题内容、完成形式的要求,得到相应的资料及结果。及时听取导师的意见,完善方案措施;继续开展研究;争取有一定的成果并完成初稿接受检查。
第三阶段  2012年4月中旬
根据导师对初稿的评定结果进行改进,以利于论文的继续进行。
第四阶段  2012年4月下旬---2012年6月定稿
完成毕业论文的写作并交导师评阅,根据导师提出的要求进行必要修改,进一步完善论文的撰写。
六、完成毕业论文所需条件
在指导教师的帮助下,通过仔细查阅书籍、期刊,进一步在互联网上搜索学习与选题有关的专业知识,完成对相关知识的掌握。
七、主要参考文献 
[1]  俞汉清.表面粗糙程度标准及应用[M].北京:中国计量出版社,1997:1-3.
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[3]  陈晓梅,龙祖洪.干涉显微镜测量表面粗糙度条纹的自动处理[J],光子学报.1993, 13(11): 1040-1044.
[4]  杨竿.表面粗糙度及表面形状的测量与描述[J].中国计量.1998,2(3):47-48.
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[6]  曹麟祥,王红.表面粗糙度的现代测量技术[J].测控技术,1992,3(2):17-20.
[7]  黄华惠.光学矩阵方法与傅立叶方法[M].上海:同济大学出版社,1991:4-5.
[8]  波恩,E.沃耳夫.光学原理(第二版)[M]北京:科学出版社,1985:40-46.
[9]  廖廷彪.物理光学[M].北京:北京电子工业出版社,1986:212-217.
[10] 郭彤,胡春光,陈津平.垂直扫描白光干涉术用于微机电系统的尺寸特征[J].光学学报,2007,27(4): 669-670.
[11] 刘云安,李国华,彭捍东.波片组合在调整偏振态势中的应用与分析[J].激光技术, 2007, 31(4):391-393.
[12] 薛晖,沈伟东,顾培夫等.基于白光干涉的光学薄膜物理厚度测量方法[J].光学学报,2009,29(7):1877-1880.
[13] 李景镇.光学手册[M].西安:陕西科学技术出版社,1986:1303-1308.
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